水分是半導(dǎo)體制造過程中影響較大的污染物之一 —  準(zhǔn)確測量水分、濕度和溫度，是保障半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量、提升生產(chǎn)良率的關(guān)鍵所在，更是半導(dǎo)體企業(yè)在激烈市場競爭中站穩(wěn)腳跟的重要支撐。?

1、半導(dǎo)體制造：高投入下的 “零廢品” 剛需?

半導(dǎo)體制造業(yè)流傳著一句話：“這不是火箭科學(xué)，但比火箭科學(xué)難多了!” 雖是玩笑話，卻精準(zhǔn)揭示了半導(dǎo)體制造的嚴(yán)苛現(xiàn)狀：制造過程既復(fù)雜又耗時(shí)，單個(gè)制造周期長達(dá) 12 到 20 周;初期投資規(guī)模巨大，制造流程所需設(shè)備價(jià)格昂貴;在新一輪投資周期啟動(dòng)前，一個(gè)制造周期通常會(huì)持續(xù)約六年，且整個(gè)生產(chǎn)過程利潤率相對(duì)較低。這一系列特點(diǎn)決定了，只有實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量、嚴(yán)控廢品與不良品數(shù)量，半導(dǎo)體企業(yè)才能確保盈利，而水分管控正是實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)的核心環(huán)節(jié)之一。?

數(shù)據(jù)預(yù)估顯示，不合適的濕度條件造成的損失，占半導(dǎo)體企業(yè)收入損失的 25%。從晶圓清洗去除表面雜質(zhì)，到光刻形成精細(xì)電路圖案，再到封裝測試確保產(chǎn)品性能，每一個(gè)環(huán)節(jié)都對(duì)環(huán)境濕度有著極致要求。哪怕是微量水分殘留，都可能導(dǎo)致光刻膠黏附性下降、電路短路，最終造成晶圓報(bào)廢，帶來巨大經(jīng)濟(jì)損失。因此，在半導(dǎo)體制造全流程中，必須尤為謹(jǐn)慎地監(jiān)測濕度和溫度水平。恒歌憑借對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)痛點(diǎn)的深刻理解，推出高精度測量解決方案，適配制造工藝流程中的關(guān)鍵步驟，響應(yīng)迅速且能適應(yīng)多樣環(huán)境條件，為半導(dǎo)體制造筑牢 “控濕防線”。接下來，我們將圍繞濕度、水分、微量水分相關(guān)的濕度、露點(diǎn)和霜點(diǎn)等參數(shù)，詳解恒歌解決方案的應(yīng)用價(jià)值。?

2、高科技納米級(jí)半導(dǎo)體制造：微量水分的 “精準(zhǔn)捕捉”?

對(duì)于高科技納米級(jí)半導(dǎo)體制造這類超純應(yīng)用場景，即便經(jīng)過嚴(yán)格的除塵、除油脂等雜質(zhì)去除工序，環(huán)境中仍可能殘留微量水分。這些看似微不足道的水分，卻會(huì)對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)良率產(chǎn)生直接且嚴(yán)重的負(fù)面影響，比如導(dǎo)致納米級(jí)電路結(jié)構(gòu)出現(xiàn)缺陷，影響芯片導(dǎo)電性能。雖然完全消除流程中的每一個(gè)水分子并不現(xiàn)實(shí)，但借助恒歌精準(zhǔn)的測量工具，能最大程度減少水分含量，為納米級(jí)制造保駕護(hù)航。?

恒歌的測量技術(shù)可敏銳捕捉納米級(jí)制造環(huán)境中的微量水分變化，無論是潔凈室內(nèi)空氣中的濕度波動(dòng)，還是工藝環(huán)節(jié)中氣體攜帶的微量水分，都能實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)、精準(zhǔn)監(jiān)測。通過即時(shí)反饋的濕度數(shù)據(jù)，工作人員可快速調(diào)整環(huán)境參數(shù)，將水分對(duì)生產(chǎn)的干擾降至最低，為納米級(jí)半導(dǎo)體制造打造穩(wěn)定、潔凈的生產(chǎn)環(huán)境。?

3、潔凈室暖通空調(diào)：高準(zhǔn)確度的 “環(huán)境管家”?

潔凈室暖通空調(diào)(HVAC)系統(tǒng)是半導(dǎo)體制造的 “環(huán)境中樞”，通常內(nèi)置在空氣處理裝置或風(fēng)扇過濾裝置中，負(fù)責(zé)維持潔凈室的溫濕度穩(wěn)定與空氣潔凈度。但在潔凈室內(nèi)，水分的危害不容小覷：可能污染精密的生產(chǎn)工藝、與工藝中使用的化學(xué)品發(fā)生不良反應(yīng)，甚至引發(fā)靜電放電(ESD)問題，這些都可能直接導(dǎo)致生產(chǎn)中斷或產(chǎn)品報(bào)廢。?

因此，潔凈室 HVAC 系統(tǒng)對(duì)溫濕度測量準(zhǔn)確度要求極高，部分場景下需達(dá)到 ±2% 的相對(duì)濕度測量準(zhǔn)確度以及 ±0.25°C 的溫度測量準(zhǔn)確度。恒歌變送器產(chǎn)品完美適配這一高要求場景，無論是安裝在通風(fēng)機(jī)內(nèi)部，還是固定在潔凈室墻壁上，都能穩(wěn)定運(yùn)行，為 HVAC 系統(tǒng)提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)支撐。?

值得一提的是，恒歌 HG602-C 和 HG602-D 微型露點(diǎn)變送器，在潔凈室 HVAC 系統(tǒng)中表現(xiàn)尤為突出。其中，HG602-C 微型露點(diǎn)儀被廣泛用于冷凍式干燥機(jī)、吸附式干燥機(jī)等對(duì)濕度要求嚴(yán)格的工況，也可作為零部件安裝在干燥系統(tǒng)、壓縮空氣系統(tǒng)等工業(yè)設(shè)備上，精準(zhǔn)檢測氣體中的實(shí)際潮氣;HG602-D 微型露點(diǎn)變送器則專為極干燥環(huán)境設(shè)計(jì)，具備快速、穩(wěn)定且可重復(fù)的測量性能，還擁有抗干擾、耐腐蝕、防污染的特性，體積小巧、集成度高，能輕松安裝在潔凈室有限空間內(nèi)的多種管道中。兩款產(chǎn)品均采用先進(jìn)傳感技術(shù)，在任何環(huán)境下都能快速響應(yīng)，測量準(zhǔn)確度高，且具備出色的長期穩(wěn)定性，大幅延長維護(hù)間隔，減少因設(shè)備維護(hù)對(duì)潔凈室環(huán)境造成的干擾，確保潔凈室 HVAC 系統(tǒng)始終精準(zhǔn)調(diào)控環(huán)境溫濕度。?

4、工藝管線氣體質(zhì)量：低露點(diǎn)下的 “可靠屏障”?

潔凈室操作離不開高質(zhì)量的過程氣體，而工藝管線中氣體的濕度水平，是決定氣體質(zhì)量的關(guān)鍵因素。一旦工藝氣體中水分超標(biāo)，可能導(dǎo)致材料污染、生產(chǎn)良率下降，因此，監(jiān)測工藝管線氣體中的濕度水平，核心目標(biāo)是盡量降低含水率，而露點(diǎn)正是衡量這一指標(biāo)的關(guān)鍵參數(shù)。?

在選擇工藝管線氣體的濕度測量設(shè)備時(shí)，響應(yīng)速度快和耐冷凝特性至關(guān)重要 —— 響應(yīng)速度快能及時(shí)捕捉露點(diǎn)變化，避免水分超標(biāo);耐冷凝特性則可確保設(shè)備在長時(shí)間停機(jī)后，仍能快速恢復(fù)穩(wěn)定運(yùn)行，保障工藝過程平穩(wěn)加速。恒歌的測量技術(shù)恰好滿足這兩大需求，其產(chǎn)品在低露點(diǎn)環(huán)境下仍能保持高精度測量，響應(yīng)迅速，可實(shí)時(shí)監(jiān)測工藝管線氣體的露點(diǎn)變化，為工藝氣體質(zhì)量筑牢 “可靠屏障”，避免因水分超標(biāo)導(dǎo)致的材料損失。?

同時(shí)，恒歌設(shè)備具備獨(dú)特的凈化功能，能去除傳感部件中不需要的殘留物，即便在次優(yōu)工作條件下，也能確保長期測量準(zhǔn)確度。此外，恒歌的自動(dòng)校準(zhǔn)功能采用專有設(shè)計(jì)和算法，可有效消除環(huán)境老化對(duì)傳感器結(jié)構(gòu)的影響，通過長期監(jiān)測傳感器性能，及時(shí)糾正靈敏度變化，大幅提升設(shè)備長期穩(wěn)定性，使其使用壽命遠(yuǎn)超傳統(tǒng)傳感器，還能減少惡劣環(huán)境條件對(duì)測量性能的干擾。一旦系統(tǒng)出現(xiàn)濕度異常故障，恒歌傳感器能迅速反應(yīng)并發(fā)出警報(bào)，幫助工作人員快速識(shí)別并解決問題，將生產(chǎn)損失降至最低。?

5、壓縮空氣質(zhì)量：超低露點(diǎn)的 “嚴(yán)格把控”?

在大多數(shù)半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)施的潔凈室環(huán)境中，壓縮空氣潔凈度至關(guān)重要，因此對(duì)壓縮空氣中多余水分含量的要求極低：目標(biāo)露點(diǎn)水平可低于 - 60°C，通常系統(tǒng)會(huì)設(shè)置多個(gè)警報(bào)級(jí)別，一旦超出目標(biāo)水平即發(fā)出警報(bào)。這就要求壓縮空氣濕度測量設(shè)備，不僅要在超低露點(diǎn)范圍內(nèi)保持高精度測量，還要具備可靠的警報(bào)功能，同時(shí)避免因測量偏差導(dǎo)致過度干燥，造成不必要的成本浪費(fèi)。?

恒歌濕度測量產(chǎn)品在整個(gè)測量范圍內(nèi)都經(jīng)過嚴(yán)格測試和校準(zhǔn)，確保傳感器讀數(shù)高度準(zhǔn)確。其中，HG602-C 和 HG602-D 微型露點(diǎn)變送器，是把控壓縮空氣質(zhì)量的理想選擇。HG602-C 適配壓縮空氣系統(tǒng)中的干燥設(shè)備，精準(zhǔn)檢測潮氣;HG602-D 則在極干燥的壓縮空氣環(huán)境中表現(xiàn)卓越，其性能、品質(zhì)、外觀設(shè)計(jì)和使用壽命可與進(jìn)口高端產(chǎn)品媲美，部分性能指標(biāo)甚至超越，且性價(jià)比極高。兩款產(chǎn)品能精準(zhǔn)監(jiān)測壓縮空氣的露點(diǎn)變化，及時(shí)觸發(fā)警報(bào)，幫助工作人員快速識(shí)別并解決問題，同時(shí)避免高成本的過度干燥風(fēng)險(xiǎn)，為半導(dǎo)體潔凈室的壓縮空氣質(zhì)量提供有力保障。?

6、恒歌 —— 半導(dǎo)體制造的 “控濕專家”?

從高科技納米級(jí)半導(dǎo)體制造的微量水分監(jiān)測，到潔凈室 HVAC 系統(tǒng)的高準(zhǔn)確度溫濕度控制，再到工藝管線氣體質(zhì)量的低露點(diǎn)監(jiān)測與壓縮空氣質(zhì)量的超低露點(diǎn)把控，恒歌始終以精準(zhǔn)、可靠的濕度測量解決方案，助力半導(dǎo)體企業(yè)攻克水分難題。HG602-C 和 HG602-D 微型露點(diǎn)變送器，更是針對(duì)半導(dǎo)體制造中不同工況需求，提供了靈活、高效的測量選擇，為半導(dǎo)體制造的高質(zhì)量發(fā)展注入強(qiáng)勁動(dòng)力。未來，恒歌將繼續(xù)深耕半導(dǎo)體行業(yè)，以技術(shù)創(chuàng)新為驅(qū)動(dòng)，推出更多適配行業(yè)需求的產(chǎn)品，為半導(dǎo)體企業(yè)創(chuàng)造更大價(jià)值。